VPSA Oksijen Tesisi Geliştirme

1891 yılında Alman Linde şirketi, soğutma makineleri imalat şirketinin laboratuvarında havanın sıvılaştırılması üzerine çalışmaya başladı.
1895 yılında Profesör Linde, Joule-Thomson etkisini kullanarak ilk sıvı hava cihazını yaptı.
1901 yılında Linde, Münih'te bir kriyojenik ekipman üretim tesisi kurdu.
1902 yılında Linde tarafından tasarlanan ilk tek kademeli düzeltme kulesinin hava ayırma ekipmanı tamamlandı. Fransız Kraut genleşme makinesini icat etti ve Paris'te Hava Sıvılaştırma şirketini kurdu.
1903 yılında Linde, yüksek basınçlı bir kısma işlemi kullanarak ilk endüstriyel 10 m3/saat oksijen jeneratörünü yaptı.
1910 yılında Fransa, pistonlu genleşme makinesiyle orta basınç prosesi kullanarak ilk 50 m3/saat oksijen jeneratörünü yaptı.
1920'de Almanya'nın Hyland kenti, yüksek basınçlı genleşme makinesiyle sıvı oksijen üretmek için yüksek basınçlı bir işlem icat etti.
1924 yılında Frankel, büyük hava ayırma ekipmanlarında sıradan ısı değiştiriciler yerine metal dolgulu soğutucuların kullanılması gerektiğini öne sürdü.
1926'da Frankel ortak formdaki soğuk akümülatörü önerdi.
1930 yılında Linde, 255 m3/saat üretime ve yüzde 99,5 O2 saflığına sahip ilk endüstriyel ölçekli Linde Frankel ünitesini üretti.
1932'de turbo genişletici ilk kez Linde-Frankel ünitesinde kullanıldı. Oksijen ilk kez Almanya'da metalurjide ve amonyak sentezinde kullanıldı.
1939'da Sovyetler Birliği yüksek verimli bir turbo genişletici yarattı ve düşük basınçlı hava ayırma ekipmanının tamamını incelemeye başladı.
1947 yılında Linde kendisini tam alttan basınçlı endüstriyel oksijen üretim ekipmanlarına adadı. Sovyetler Birliği, tam düşük basınçlı proseslere sahip büyük endüstriyel oksijen tesisleri tasarlamaya başladı.
1949 yılında Amerika Birleşik Devletleri'nde ilk kez 29000m3/saat oksijen jeneratörü plakalı çözgü ısı değiştirici uygulamasına geçildi.
1952'de Avusturya, çelik yapmak için ilk kez saf oksijen üstten üflemeli dönüştürücüyü kullandı ve bu, metalurjik oksijende keskin bir artışa yol açtı.
1955'te Amerika Birleşik Devletleri aktif olarak füzeler geliştirdi ve hızlandırıcı olarak büyük miktarda sıvı oksijen tüketti.
1957 yılında ilk otomatik çalışan 120 ton/gün oksijen jeneratörü yapıldı.
1960 yılında Japonya, yüzde 10.000 m3/saat yüzde 99.6 O2 ve yüzde 10.000 m3/saat yüzde 99.99 N2 çift yüksek saflıkta, büyük ölçekli tam alçak gerilim ekipmanını tamamladı.
1972 yılında Fransa, dünyanın en büyük saf oksijen hava ayırma ekipmanı kapasitesine sahipti: 1700 ton/gün O2 ve 1500 ton/gün N2.
Daha büyük birimler halen incelenmektedir.